Intorno alla nuova generazione della tecnologia di produzione di semiconduttori "EUV (Extreme Ultraviolet Light)", la concorrenza tra le aziende di apparecchiature si è intensificata. Tokyo Electronics investirà un costo di sviluppo record nell'anno fiscale 2020 (a partire da marzo 2021) e il portafoglio ordini di Lasertec è raddoppiato nell'ultimo anno. Nel mercato delle apparecchiature legate all'UEV, l'ASML olandese monopolizza la macchina litografica di base, ma nei settori dell'ispezione e della sorgente luminosa, anche la presenza di aziende giapponesi sta migliorando.
Toshiki Kawai, presidente di Tokyo Electronics, il terzo produttore mondiale di apparecchiature per la produzione di semiconduttori, ha dichiarato: "Se EUV sarà reso popolare, la domanda di apparecchiature di fascia alta aumenterà". Nell'anno fiscale 2020, investirà un record di 135 miliardi di yen nelle spese di ricerca e sviluppo. .
Il vantaggio di Tokyo Electronics è "Coater Developer". Questa apparecchiatura viene utilizzata per rivestire un liquido chimico speciale su un wafer di silicio come materiale semiconduttore per svilupparlo. Nel campo delle apparecchiature di produzione di massa EUV, la quota di mercato dell'azienda è del 100%. Le vendite consolidate per questo anno fiscale dovrebbero raggiungere 1,28 trilioni di yen. Oltre il 10% di questo verrà utilizzato per la ricerca e lo sviluppo per consolidare l'avanguardia nella fase di divulgazione dell'EUV.
Nel mercato delle apparecchiature per la produzione di semiconduttori di oltre 6 trilioni di yen all'anno, si stanno verificando cambiamenti generazionali.
Maggiore è la larghezza della linea del circuito di un semiconduttore, maggiori sono le prestazioni e l'attuale prodotto all'avanguardia è di 5 nanometri. Per trasferire un circuito così sottile su un wafer di silicio, la macchina litografica EUV è indispensabile. Con la crescente offerta di ASML, l'unico metodo EUV prodotto in serie al mondo, è iniziata anche la competizione per lo sviluppo, comprese le apparecchiature periferiche come rivestimento e sorgenti luminose.
Il simbolo del cambio generazionale è il produttore di apparecchiature di prova Lasertec. Se ci sono difetti nel photomask come il circuito originale, il tasso di difetto del semiconduttore aumenterà di conseguenza. L'azienda produce apparecchiature di prova a supporto di EUV e i suoi ordini da luglio 2019 a marzo 2020 sono aumentati di 2,2 volte rispetto allo stesso periodo dell'anno scorso, raggiungendo 65,8 miliardi di yen. Si prevede che due terzi degli ordini annuali siano correlati all'UEV.
Inoltre, si stanno verificando feroci scontri tra aziende giapponesi. Nel campo delle macchine per la scrittura di maschere a fascio di elettroni, la tecnologia NuFlare di Toshiba si sta avvicinando all'alleanza tra JEOL e IMS NANOFABRICATION (Austria). L'attenzione si concentra sullo sviluppo della tecnologia "Multi-Beam" utilizzando 260.000 raggi laser.
A gennaio, Toshiba ha respinto HOYA, che ha avviato un TOB (offerta pubblica d'appalto) ostile e ha consolidato il suo controllo su Niu Fulai. 25 tecnici di sviluppo recentemente inviati, ecc., Prevedono di fornire apparecchiature litografiche di prossima generazione a supporto dell'EUV entro il 2020.
Gigaphoton (con sede a Oyama City, Prefettura di Tochigi), una consociata di Komatsu che produce sorgenti laser, non vede l'ora di tornare. Prima dell'avvento di EUV, l'azienda è diventata una delle prime due nel campo delle sorgenti luminose per macchine litografiche. Tuttavia, a causa di motivi come l'acquisizione di un concorrente da parte di ASML, attualmente sta perdendo la sua presenza. Gigaphoton si impegna a sviluppare componenti di sorgenti luminose ad alto rendimento prima che ASML lanci apparecchiature EUV di prossima generazione per riconquistare quote di mercato.
Lo sfondo per le aziende ad accelerare lo sviluppo delle apparecchiature EUV è la competizione di miniaturizzazione lanciata dalla Samsung Electronics e TSMC della Corea del Sud. La domanda di semiconduttori ad alte prestazioni come il 5G è forte e le due società sono in competizione per ogni macchina per litografia ASML del valore di oltre 20 miliardi di yen. In questo processo, si stanno espandendo anche le opportunità commerciali per le aziende produttrici di apparecchiature di produzione circostanti.
Le statistiche dell'International Semiconductor Equipment and Materials Association (SEMI) e della Semiconductor Manufacturing Equipment Association of Japan (SEAJ) mostrano che la quota di mercato delle apparecchiature per la produzione di semiconduttori prodotte in Giappone era del 31,3% nel 2019, che è rimasta circa il 30% in passato 20 anni.
Nel campo delle apparecchiature litografiche, Nikon e Canon avevano precedentemente spazzato il mercato mondiale, ma fallirono nella concorrenza con ASML e rimasero indietro nello sviluppo di EUV. Nel campo dei semiconduttori, poiché il processo di produzione diventa difficile, la tendenza del vincitore prende tutto. Il cambiamento generazionale che considera EUV un'opportunità accelererà anche la sopravvivenza del più adatto nelle aziende di apparecchiature.
"L'investimento in attrezzature all'avanguardia nel mercato continentale è cessato", ha sospirato il capo delle aziende di componenti e componenti legate all'UEV. Poiché il governo olandese non lo ha approvato, ASML non è stata in grado di esportare macchine per litografia EUV sulla terraferma. Inoltre, viene sospeso anche l'acquisto di apparecchiature e parti periferiche.
Vi è un attrito commerciale tra Cina e Stati Uniti. Se le apparecchiature ASML non possono essere importate, i produttori di semiconduttori sulla terraferma rimarranno indietro nella competizione di miniaturizzazione. Il governo della terraferma propone l'obiettivo che il tasso di autosufficienza dei semiconduttori raggiungerà il 40% entro il 2020 e il 70% entro il 2025, ma questo è difficile da raggiungere. Molti punti di vista ritengono che gli Stati Uniti abbiano esercitato pressioni sul governo olandese affinché lo usasse come arma di sanzioni.
Le statistiche dell'International Semiconductor Equipment and Materials Association mostrano che il mercato delle apparecchiature per la produzione di semiconduttori nel 2019 è stato di 59,7 miliardi di dollari, con un incremento del 59% rispetto al 2014. Durante questo periodo, il mercato continentale ha aumentato la sua presenza e la sua quota nel mondo il mercato complessivo è aumentato dall'11,6% nel 2014 al 22,5%. Per le società giapponesi di apparecchiature per la produzione di semiconduttori, la terraferma è diventata un mercato difficile da ignorare.
Lo sviluppo della tecnologia EUV è difficile e i costi di ricerca e sviluppo di tutte le aziende si stanno espandendo. Se il mercato non si espande più, il ritorno sugli investimenti delle imprese sarà ritardato e lo sviluppo di nuove tecnologie potrebbe essere difficile da avanzare.